本发明公开了基于铪系铁电薄膜的声表面波器件及薄膜体声波器件，声表面波器件包括在衬底上集成的谐振/滤波组件和传感组件中的任意一种或两种，各组件均分别包括依次层叠的底电极层、压电层和顶电极层；薄膜体声波器件包括在衬底上集成的谐振/滤波组件、传感组件中的任意一种或两种，各组件均分别包括依次层叠的底电极层、压电层和顶电极层；两类声波器件中的各压电层均分别是通过掺杂有锆、铝或硅的铪系铁电薄膜，使用原子层沉积工艺制得。本发明能够在铪系铁电薄膜上制备出两类声波器件和存储器件，可以将环境感知、信号处理与存储进行集成，有利于提高电子设备的集成度和工作速度。