化合物及有机膜形成用组合物
摘要:
本发明提供一种化合物,其能够形成不仅在空气中、而且在惰性气体中的成膜条件下也固化而不产生副产物,耐热性及形成在基板上的图案的嵌入或平坦化特性优异,且基板加工时的干法蚀刻耐性也良好的有机下层膜。该化合物为下述通式(1-1)所示的化合物。[化学式1]式中,AR1、AR2表示芳香环或含有氮原子、硫原子中的1个以上的芳香环,2个AR1、AR1与AR2、2个AR2可连接;AR3为苯环、萘环、噻吩环、吡啶环或二嗪环;A为有机基团,B为阴离子性离去基团,Y为2价有机基团,p为1或2,q为1或2,r为0或1,s为2~4;s=2时,Z为单键、2价原子或2价有机基团,s=3或4时,Z为3价或4价的原子或有机基团。
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