本发明公开了一种利用化学腐蚀冰层辅助激光加工低锥度微孔的装置及方法，属于特种加工技术中的微细加工领域；本发明利用高压氮气将化学腐蚀液制成化学腐蚀冰层，且与工件上表面紧密贴合，加工过程中不会有空气进入孔内，能够保证冰层融化后的液面上升高度。通孔完成后，腐蚀液进入孔内，可以清除激光产生的熔渣，改善孔内壁的表面质量。激光照射部分的化学腐蚀冰层会随着加工过程的进行逐渐溶解，当化学腐蚀冰层溶解后腐蚀液顺着孔的内壁流下，液面会产生一定的波纹状且两边高度高于中间，保证激光的反射和折射范围，且随着液面的上升，激光反射和折射的作用效果逐渐的减弱，从而改善整个内孔壁的质量和锥度。