一种石墨烯薄膜的制备方法及含有石墨烯薄膜的装置
Abstract:
本发明公开了一种石墨烯薄膜的制备方法及含有石墨烯薄膜的装置,该制备方法包括:在金属基底上形成钝化层;在钝化层上形成孔洞,使得通过孔洞漏出金属基底;在露出金属基底的孔洞上形成石墨烯薄膜,并且石墨烯薄膜覆盖钝化层。通过在金属基底表面覆盖一层钝化层,然后在钝化层上形成孔洞,实现了对金属基底的选择性钝化处理,使得金属基底具有催化能力的区域面积和数量可控,从而使得石墨烯薄膜的生长速度可控。
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