本发明实施例提供一种测算功率半导体器件的栅极内阻的方法及装置，其中，方法通过构建等效电路模型，设置驱动电阻对应的第一预设电阻值和第二预设电阻值，获取驱动电源对应的驱动电压值、充电电容对应的输入电容值、第一预设电阻值对应的第一开通延时值和第二预设电阻值对应的第二开通延时值，利用差值法联立关于栅极电阻对应的阈值电压的方程表达式，把阈值电压作为一个中间量消去，进而不再需要测量阈值电压参量，只需要两次动态测试即可求解栅极内电阻，避免了阈值电压测量不准确引起的误差，因此，提高了栅极内电阻的测算精度。