一种多叉指LDMOS-SCR静电防护器件
摘要:
本发明实施例提供一种多叉指LDMOS‑SCR静电防护器件,包括P型衬底;P型衬底中设有N型深阱;N型深阱内设有第一P阱、第一P阱和第二P阱之间的N型深阱、第二P阱、第二P阱和第三P阱之间的N型深阱、第三P阱、第三P+阱和第四P阱之间的N型深阱以及第四P阱;第一P阱内设有第一P+注入区和第一N+注入区;第二P阱内设有第四P+注入区、第三N+注入区、第五P+注入区、第四N+注入区和第六P+注入区;第三P阱内设有第九P+注入区和多个N+注入区Ⅱ,第四P阱内设有第九N+注入区和多个P+注入区Ⅴ,如此,相对于传统多叉指LDMOS‑SCR器件,本发明在增加器件指数的同时,提高多叉指LDMOS‑SCR的导通均匀性,进而提高多叉指LDMOS‑SCR的鲁棒性。
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