一种基于磁扭电效应的磁场传感器及其制造方法
摘要:
一种基于磁扭电效应的磁场传感器及其制造方法,包括压电材料、弹性层材料、永磁体材料、柔性电极、以及压电材料的上表面电极、下表面电极;压电材料的上、下表面贴合柔性电极,并以三明治结构封装于弹性层之间,压电材料位于弹性层长度方向的中心位置,弹性层的两端各自粘接一对永磁体,永磁体材料在外磁场的作用下产生扭矩,并对压电材料产生压应力的作用,压电材料产生电信号输出,继而实现对外界直流磁场、交流磁场的传感。本发明的磁场传感器,相比于常见的磁电传感器,无需偏置磁场,驱动简单,能耗低,基于磁扭电的悬臂梁结构也大大提高了传感器的使用寿命。
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