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公开(公告)号：CN111537921B
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202010323013.8
申请日：2020-04-22
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种悬臂梁式MEMS磁传感器及其制备方法，包括悬臂梁、声表面波器件、磁致伸缩薄膜和磁性质量块；声表面波器件设在悬臂梁上方，磁性质量块位于悬臂梁的自由端；磁致伸缩薄膜位于声表面波器件上方；声表面波器件包括压电薄膜和叉指电极；压电薄膜设置在悬臂梁上表面，若干叉指电极设置在压电薄膜上。本发明提供了一种悬臂梁式MEMS磁传感器。不同于传统的声表面波磁传感器，引入了带磁性质量块的悬臂梁，这种结构不仅通过磁扭矩效应，提高了灵敏度，而且采用了MEMS工艺，制备的传感器体积小，有利于高度集成化。
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公开(公告)号：CN111554469B
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202010329070.7
申请日：2020-04-23
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种透光柔性可调可降解磁性薄膜及其制备方法，包括基底和磁性多层膜；磁性多层膜结构设置在基底上，磁性多层膜包括中间的铁磁层和上下表面的金属氧化物层；基底为丝素蛋白纤维基底。本发明利用丝素蛋白纤维基底的生物亲和性，使磁性薄膜可在人体中完全无害地降解且磁性薄膜整体的柔性和透光性良好。
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公开(公告)号：CN109888088B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201910155838.0
申请日：2019-03-01
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种磁阻传感器结构及其制造方法，包括基底、缓冲层、相变结构、绝缘层和导电材料电极；缓冲层设置在基底的上表面，缓冲层上设置有相变结构和绝缘层，绝缘层设置在相变结构的两侧，且绝缘层高于相变结构；两个绝缘层顶部之间设置有导电材料电极；相变结构包括铁磁层、相变材料和非磁层。本发明将使用相变材料作为非磁性隔离层，由于室温下绝缘的相变材料在电流作用下可转变为导电材料，使磁阻传感器可在GMR与TMR两种效应间可控翻转，实现对磁阻传感器线性测量范围的动态调控。
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公开(公告)号：CN111416036A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN202010198089.2
申请日：2020-03-19
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： H01L43/10 , H01L43/12 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/20 , H01L41/37 , H01L41/39 , H01L41/47
摘要： 一种自支撑的磁电纳米复合结构及其制备方法，包括钛酸锶衬底、铝酸锶牺牲层和铁酸铋/铁酸钴磁电复合薄膜；钛酸锶衬底、铝酸锶牺牲层和铁酸铋/铁酸钴磁电复合薄膜自下而上依次设置，形成自支撑的磁电纳米复合结构；铁酸铋/铁酸钴磁电复合薄膜中铁酸铋为网格状结构，铁酸钴填充在网格结构内。本发明有利于提高磁电耦合性能，在能量存储与转换，磁存储及磁传感等方面有潜在的应用价值。
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公开(公告)号：CN111342184A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN202010113811.8
申请日：2020-02-24
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种可调的柔性微波器件及其制备方法，包括柔性基底、铌镁酸铅-钛酸铅PMN-PT层、钛酸锶钡薄膜层和铜层；铌镁酸铅-钛酸铅PMN-PT层、钛酸锶钡BST薄膜层和铜层依次自下而上设置在柔性基底上，形成PMN-PT/BST/Cu多层薄膜复合结构。本发明提供的一种可调柔性微波器件及其制备方法可以使制备得到的柔性微波器件具有较好的可选择性地隔离不同频带、低损耗以及优良的柔韧性的特性，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN111312889A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010113164.0
申请日：2020-02-24
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种磁电弹簧结构及其制备方法，包括铁电层和铁磁层，生长过程中使用铝酸锶作为缓冲层降低晶格失配度。生长完成后，利用铝酸锶的水溶性和铁电、铁磁层之间的应力释放，形成包含铁电层和铁磁层的微型弹簧结构，铁电层设置在铁磁层内侧。随着铁电性和铁磁性厚度的变化，弹簧的弹性系数将发生变化。在一定的弹度限制内，也有类似弹簧的虎克定律。当施加拉力或压力，释放拉力或压力后，微型弹簧可恢复至原来的形状。对弹簧上的铁电层施加电场后，由于压电效应和磁电耦合效应，弹簧的形状和磁性可随电场调节。对弹簧施加磁场后，由于磁致伸缩效应和磁电耦合效应，弹簧的形状和表面电荷会随磁场发生变化，可用于磁场传感。
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公开(公告)号：CN110794346A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910920177.6
申请日：2019-09-26
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种基于磁扭电效应的磁场传感器及其制造方法，包括压电材料、弹性层材料、永磁体材料、柔性电极、以及压电材料的上表面电极、下表面电极；压电材料的上、下表面贴合柔性电极，并以三明治结构封装于弹性层之间，压电材料位于弹性层长度方向的中心位置，弹性层的两端各自粘接一对永磁体，永磁体材料在外磁场的作用下产生扭矩，并对压电材料产生压应力的作用，压电材料产生电信号输出，继而实现对外界直流磁场、交流磁场的传感。本发明的磁场传感器，相比于常见的磁电传感器，无需偏置磁场，驱动简单，能耗低，基于磁扭电的悬臂梁结构也大大提高了传感器的使用寿命。
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公开(公告)号：CN110793510A
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910919389.2
申请日：2019-09-26
申请人： 西安交通大学
摘要： 一种测量面内交流磁场的磁电罗盘及其制造方法，包括压电材料，杆状弹性材料，永磁体材料，柔性电极片，绝缘材料，法兰盘压力传递装置，末端质量块；永磁体材料在外磁场的作用下产生扭矩，并对压电材料产生压应力的作用，压电材料产生电信号输出，继而实现对外界交流磁场的传感。本发明的磁场传感器，相比于常见的磁电传感器，无需偏置磁场，驱动简单，能耗低，可以作为无源器件使用，基于磁扭电的悬臂梁结构也大大提高了传感器的使用寿命。本发明的磁场传感器，可以用于面内交流磁场大小和方向的测试，在工业设备的磁场测定中具有重大的应用前景。
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公开(公告)号：CN110212085A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910477142.X
申请日：2019-06-03
申请人： 西安交通大学
摘要： 测量范围可调的巨磁电阻传感器，包括基底、巨磁电阻结构和导电层；巨磁电阻结构和导电层均设置在基底上表面，且导电层设置在巨磁电阻结构的周围；巨磁电阻结构包括第一缓冲层、第二缓冲层、钉扎层、隔离层和两个铁磁层，两个铁磁层分别为被钉扎层和自由层；第一缓冲层设置在基底上表面，第一缓冲层上自下而上依次设置钉扎层、被钉扎层、隔离层、自由层和第二缓冲层，形成巨磁电阻结构。本发明利用磁电复合材料中磁各向异性场的电场调控效应，首次实现了使用电场对巨磁电阻结构中自由层的磁化方向的调节，具有灵敏度较高、体积小、功耗低、可靠性高、温度特性好、可集成化等优点。并首次将此原理应用于巨磁电阻传感器中，实现了巨磁电阻传感器线性输出范围的大幅提高和连续调节。测量范围可调的巨磁电阻传感器可用于车载电子、物联网和可穿戴设备等微型磁传感器芯片。
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公开(公告)号：CN110202880A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910477178.8
申请日：2019-06-03
申请人： 西安交通大学
IPC分类号： B32B19/08 , B32B19/04 , B32B27/28 , B32B27/36 , C23C14/28 , C23C14/08 , C23C14/20 , C23C14/35 , C23C14/58
摘要： 一种柔性微波器件及其制备方法，包括柔性波导和柔性铁氧体薄膜；柔性铁氧体薄膜设置在柔性波导上表面；柔性波导表面开设有两条并行的S型槽道，柔性铁氧体薄膜位于S型槽道的中部；S型槽道的一端外接电磁波发生装置。本发明涉及的柔性微波器件结构简单、体积小、造价低、性能好。可用于制备隔离器、环行器、移相器、双工器、滤波器、微波介质天线和铁氧体开关等柔性微波信号处理器件，在微波通信、物联网、智能家电等领域具有重要的应用前景。
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