发明公开
CN110806432A 微热板和微热板的制作方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 微热板和微热板的制作方法
- 专利标题(英): Micro-hot plate and manufacturing method of micro-hot plate
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申请号: CN201911133641.3申请日: 2019-11-19
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公开(公告)号: CN110806432A公开(公告)日: 2020-02-18
- 发明人: 尤政 , 鲁文帅 , 尤睿 , 阮勇
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区清华园1号
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华园1号
- 代理机构: 北京华进京联知识产权代理有限公司
- 代理商 张书涛
- 主分类号: G01N27/12
- IPC分类号: G01N27/12
摘要:
本申请涉及一种微热板和微热板的制作方法。粘附层设置于石英玻璃基底的表面。电极层设置于粘附层远离石英玻璃的表面。石英玻璃基底远离粘附层的表面设置有凹槽。由于石英玻璃基底具有热导率低的特性,石英玻璃基底与环境的热传导能力较差,从而能够降低微热板的功耗,提高能量利用效率。同时,石英玻璃基底具有绝缘耐高温的特性,因此在石英玻璃基底的表面可以省去绝缘材料,从而简化了“三明治”薄膜结构,提高了热稳定性。同时,凹槽可以减少石英玻璃基底的热容,降低功耗。同时由于凹槽具有底部。因此可以对粘附层和电极层起到支撑的作用,增强了结构强度,避免粘附层和电极层由于悬空由于移动或者振动等情况而损坏。