发明授权
- 专利标题： 用于检测半导体装置中的缺陷的方法
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申请号： CN201910501571.6申请日： 2019-06-11
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公开(公告)号： CN110852983B公开(公告)日： 2024-03-08
- 发明人: 许仁 , 朴民哲 , 李泰昊 , 郑椙旭 , 黄灿永
- 申请人： 三星电子株式会社
- 申请人地址： 韩国京畿道水原市
- 专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人： 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道水原市
- 代理机构： 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 刘灿强; 张川绪
- 优先权： 10-2018-0087488 2018.07.27 KR
- 主分类号： G06T7/00
- IPC分类号： G06T7/00 ; G06N3/0464 ; G06V10/762 ; G06V10/82
公开/授权文献
- CN110852983A 用于检测半导体装置中的缺陷的方法 公开/授权日：2020-02-28
