发明公开
- 专利标题: 调整芯片吸盘与基板吸盘平行度的准直光路结构
- 专利标题(英): Collimation light path structure for adjusting parallelism of chip sucker and substrate sucker
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申请号: CN201911144661.0申请日: 2019-11-20
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公开(公告)号: CN110854054A公开(公告)日: 2020-02-28
- 发明人: 王雁 , 闫瑛 , 狄希远 , 董永谦 , 景灏 , 吕琴红 , 孙丽娜 , 斯迎军 , 高峰
- 申请人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 申请人地址: 山西省太原市万柏林区和平南路115号
- 专利权人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 当前专利权人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
- 当前专利权人地址: 山西省太原市万柏林区和平南路115号
- 代理机构: 山西华炬律师事务所
- 代理商 陈奇
- 主分类号: H01L21/68
- IPC分类号: H01L21/68 ; H01L21/67
摘要:
本发明公开了一种调整芯片吸盘与基板吸盘平行度的准直光路结构,解决了现有键合设备在键合前通过自适应调整芯片吸盘与基板吸盘之间的平行度存在调整不到位导致键合产品质量低和废品率高的问题。本发明通过双准直成像光路对同一靶标在准直成像相机中进行成像;在该成像光路中除带反射镜面的芯片吸盘的反射镜和带反射镜面的基板吸盘的反射镜之外,各棱镜均处于预先设定好的光学系统中,各棱镜的位置和角度均恒定不变,仅调整带反射镜面的芯片吸盘的反射镜,就会改变靶标生成图像A的位置,因此通过调整带反射镜面的芯片吸盘的位置,即可实现芯片吸盘与基板吸盘之间的平行度的调节;实现了芯片吸盘与基板吸盘平行度的大幅度提高。
公开/授权文献
- CN110854054B 调整芯片吸盘与基板吸盘平行度的准直光路结构 公开/授权日:2024-06-04
IPC分类: