- 专利标题： 一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法
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申请号： CN201910939492.3申请日： 2019-09-30
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公开(公告)号： CN110950660A公开(公告)日： 2020-04-03
- 发明人: 林大斌 , 苏勇铭 , 周顺 , 刘卫国 , 蔡长龙 , 张德强
- 申请人： 西安工业大学
- 申请人地址： 陕西省西安市未央区学府中路2号
- 专利权人： 西安工业大学
- 当前专利权人： 西安工业大学
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市未央区学府中路2号
- 代理机构： 西安新思维专利商标事务所有限公司
- 代理商 黄秦芳
- 主分类号： C04B35/497
- IPC分类号： C04B35/497 ; C04B35/622
摘要：
本发明涉及一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法。现有铁电薄膜介电和热释电性能不高，通过A/B位掺杂改性的方式提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能。本发明依次包括下述步骤：一、制备PMN-PT前驱体溶液：二、利用稀土元素制备均匀掺杂稀土元素的PMN-PT前驱体溶液；三、将掺杂稀土元素PMN-PT前驱体溶液在Pt/TiO2/SiO2/Si基底上旋涂均匀，薄膜退火结晶得到掺杂稀土元素PMN-PT薄膜。本发明通过稀土元素掺杂，显著提高驰豫铁电PMN-PT薄膜介电和热释电性能。
公开/授权文献
- CN110950660B 一种提高弛豫铁电薄膜介电和热释电性能的方法 公开/授权日：2022-03-15
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