发明公开
CN110950675A 一种AlN陶瓷与Cu的新型连接方法
无效 - 驳回
摘要:
本发明公开了一种AlN陶瓷与Cu的新型连接方法,在AlN陶瓷表面丝网印刷一层CuO浆料,烧结成膜制得CuO层,在还原性气氛长时间保温,CuO还原为Cu制得种子层,利用Ag作中间层,将带有种子层的AlN与Cu在真空炉中焊接实现AlN陶瓷与Cu的新型连接。本发明属于微电子封装领域,采用成本较低的CuO与Ag,降低了焊接温度,利用CuO与AlN发生的反应生成了可靠的连接层,用Ag和Cu之间形成的固溶体和共晶组织,在焊缝组织中不生成任何硬而脆的化合物,提高了接头的连接强度,同时采用多步工艺的方式,有效的解决了排胶过程中容易产生孔洞等缺陷;加工条件简单,对于加工环境,设备等要求低,有利于批量生产。