发明公开
- 专利标题: 集成芯片和形成集成芯片的方法
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申请号: CN201910915507.2申请日: 2019-09-26
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公开(公告)号: CN110957343A公开(公告)日: 2020-04-03
- 发明人: 陈朝阳 , 蔡竣扬 , 黄国钦 , 朱文定 , 黄建达 , 吴承润
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹
- 代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 李伟
- 优先权: 62/737,317 2018.09.27 US
- 主分类号: H01L27/24
- IPC分类号: H01L27/24 ; H01L45/00
摘要:
在一些实施例中,本公开涉及集成芯片。集成芯片包括设置在衬底上方的介电结构内的一个或多个下互连层。在一个或多个下互连层中的其中一个上的底部电极。底部电极的下表面包括具有第一电负性的材料。将底部电极与顶部电极隔开的数据存储层。与底部电极的下表面接触的反应性降低层。反应性降低层具有大于或等于第一电负性的第二电负性。根据本申请的其他实施例,还提供了另外的集成芯片和形成集成芯片的方法。
公开/授权文献
- CN110957343B 集成芯片和形成集成芯片的方法 公开/授权日:2023-01-20
IPC分类: