本发明公开了一种碳化硅分布均匀、制备成本低的单晶炉用碳陶复合材料加热器制备方法，它包括以下步骤：⑴制备陶瓷浆料；⑵制备碳陶复合材料加热器湿坯；⑶制备碳陶复合材料加热器干坯；⑷粗加工；⑸气相沉积；⑹精加工；本发明实现了在室温下通过物理方式将陶瓷粉体及包括石墨粉或石墨烯的润滑剂引入到碳纤维预制体中，经气相沉积后制备得碳陶复合材料加热器，具有工艺简单，生产周期短，制备成本低，导电性能好等特点；通过调整碳陶复合材料内陶瓷含量，能很好的控制碳陶复合材料的电阻率；制备的碳陶复合材料加热器的开气孔率为1﹪～9﹪，密度为1.5g/㎝3～2.3g/㎝3，抗弯强度为250MPa～480MPa，电阻率为10μΩ•m～300μΩ•m。