本发明公开了一种高精度自适应的真空度控制系统，其包括真空室，进气管道，喷管和排气组件，所述排气组件包括彼此相连并同轴配置的可调节收集段，等直段和扩散段，所述排气组件穿过所述真空室壁进行设置，所述可调节收集段位于真空室内，其进气口面积可调，所述扩散段位于真空室外，所述喷管配置于真空室内，经由所述进气管道与真空室外的气源相连，所述喷管与所述排气组件彼此相间隔地同轴配置。本发明结构简单、并且在真空度高的前提下，不仅能够进行简单的真空度调节，还能够自适应稳定在某一所需真空度。