本发明公开了一种多用碳化硅晶片传输机械手，包括衬板；主传动齿轮和副传动齿轮，主后辅臂和副后辅臂，动力输入模块，动力输入模块给机主传动齿轮提供动力输入带动主传动齿轮转动；主抓取臂和副抓取臂，主抓取臂与主传动齿轮和主后辅臂铰接，与主传动齿轮和主后辅臂铰接；主上前辅臂和主下前辅臂的一端分别铰接在衬板的上表面和下表面，另一端分别铰接在主抓取臂中部的上端和下端，副上前辅臂和副下前辅臂的一端分别铰接在衬板的上表面和下表明，另一端分别铰接在副抓取臂中部的上端和下端；直径调节模块分别安装在主抓取臂和副抓取臂的末端。本发明可实现二级抓取，实现了有限空间内不同腔体间的高效协调运作。