本发明提供了一种降低晶体内部应力的退火处理方法，包括以下步骤：(1)准备阶段：将需要退火处理的晶体放置于坩埚中，对坩埚进行抽真空和通入惰性气体；(2)加热阶段，利用加热装置对所述坩埚进行加热，加热过程中，分别控制加热装置中同心设于坩埚上方的多个第一加热环的加热温度，使坩埚形成径向的温度梯度。本发明通过控制加热装置的多个第一加热环的加热温度，使坩埚形成径向的温度梯度，可获得与晶体生长时不同或相反的径向温度梯度，可显著降低晶体的径向应力，且通过控制坩埚下方的第二加热环和坩埚侧面的第三加热环的加热温度，实现了坩埚的轴向温度梯度，可获得与晶体生长时不同或相反的轴向温度梯度，能实现残余热应力的基本消除。