本发明公开了一种X射线CT成像装置，包括：X射线管、X射线管回转座、椭圆反射镜、局部高精度探测器、以及局部高精度探测器回转座；X射线管可转动连接于X射线管回转座上；局部高精度探测器可转动连接于局部高精度探测器回转座上；椭圆反射镜的镜面朝向于待检测的电路板样品，X射线管设置在椭圆反射镜所在椭圆的一个焦点上，电路板样品、局部高精度探测器依次设置于X射线管发出的射线经椭圆反射镜的镜面反射后所经过的路径上。本发明解决了现有技术中难以对大面积集成电路板进行局部高精度扫描的难题，能够对电路板关键部件的散热结构、芯片焊接等情况进行CT成像，极大地提高了大面积集成电路板的质量检测效果。