- 专利标题： 具有减小的应力敏感度的超声MEMS声换能器及其制造工艺
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申请号： CN201911143036.4申请日： 2019-11-20
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公开(公告)号： CN111212370B公开(公告)日： 2022-06-21
- 发明人: G·加特瑞 , C·瓦尔扎希纳 , F·韦尔切西 , G·阿勒加托
- 申请人： 意法半导体股份有限公司
- 申请人地址： 意大利阿格拉布里安扎
- 专利权人： 意法半导体股份有限公司
- 当前专利权人： 意法半导体股份有限公司
- 当前专利权人地址： 意大利阿格拉布里安扎
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 李春辉
- 优先权： 102018000010485 20181121 IT
- 主分类号： H04R19/04
- IPC分类号： H04R19/04 ; H04R31/00
摘要：
本公开涉及具有减小的应力敏感度的超声MEMS声换能器及其制造工艺。一种超声MEMS声换能器形成在半导体材料的本体中，该本体具有彼此相对的第一表面和第二表面。第一腔在本体中延伸，并在底部界定敏感部分，该敏感部分在第一腔与本体的第一表面之间延伸。敏感部分容纳第二腔并形成膜，该膜在第二腔和本体的第一表面之间延伸。弹性支撑结构在敏感部分和本体之间延伸，并悬置在第一腔上方。
公开/授权文献
- CN111212370A 具有减小的应力敏感度的超声MEMS声换能器及其制造工艺 公开/授权日：2020-05-29
