发明授权
- 专利标题： 一种显示基板及其制备方法、显示装置
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申请号： CN202010067903.7申请日： 2020-01-20
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公开(公告)号： CN111244035B公开(公告)日： 2023-02-07
- 发明人: 刘宁 , 王海涛 , 胡迎宾 , 王庆贺 , 宋威 , 倪柳松
- 申请人： 合肥鑫晟光电科技有限公司 , 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址： 安徽省合肥市新站区工业园内;
- 专利权人： 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人： 合肥鑫晟光电科技有限公司,京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市新站区工业园内;
- 代理机构： 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号： H01L21/77
- IPC分类号： H01L21/77 ; H01L27/12 ; H01L21/311
摘要：
本发明实施例提供一种显示基板及其制备方法、显示装置，涉及显示技术领域，可确保刻蚀后的无机绝缘层的形貌为预先设计的尺寸。一种显示基板的制备方法，包括：在衬底上形成无机绝缘薄膜；利用刻蚀液对所述无机绝缘薄膜进行刻蚀，以得到无机绝缘层；其中，所述刻蚀液包括氢氟酸。
公开/授权文献
- CN111244035A 一种显示基板及其制备方法、显示装置 公开/授权日：2020-06-05
IPC分类:
