本发明公开了一种基于非晶(GaLu)2O3薄膜的日盲紫外光探测器及其制备方法。所述探测器从下至上依次包括m面蓝宝石衬底、有源层、一对平行金属电极；所述有源层为非晶(GaLu)2O3薄膜。本发明利用Lu2O3与Ga2O3形成(GaLu)2O3合金，从而提高Ga2O3的光学带隙，更高带隙的(GaLu)2O3薄膜能够有效地降低器件的暗电流，并使截止波长蓝移至280nm以内。另外本发明在m面蓝宝石生长出非晶(GaLu)2O3薄膜，该薄膜中存在许多悬挂键及表面态，它们会作为复合中心加快器件的响应速度。得益于此，非晶(GaLu)2O3薄膜器件相对于纯Ga2O3器件，极大提高了其对深紫外光的探测能力。