表面处理装置、表面处理方法
摘要:
本发明提供表面处理装置,减少浇流式的表面处理装置的处理液(Q)的飞散量。在搬运用挂钩(16)的铅垂下方设置有蜂巢部件(60)。蜂巢部件(60)通过连结多个空出有六边形的孔的筒状部件而成。在处理液(Q)沿铅垂方向(箭头(α)方向)落下时,该处理液(Q)穿过蜂巢部件的贯通孔。然后,在与液面(H)碰撞时,该处理液(Q)的一部分被反弹。反弹的处理液(Q)的一部分向倾斜方向反弹,因此与蜂巢部件(60)的贯通孔的内壁碰撞。由此,减少了在贯通孔的上表面再次出现的处理液(Q)的量。由此,蜂巢部件(60)实现飞散防止功能。
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