表面处理装置
    1.
    发明公开
    表面处理装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN111424269A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201911357841.7

    申请日:2019-12-25

    IPC分类号: C23C18/38 C23C18/16

    摘要: 本发明提供表面处理装置,减少浇流式的表面处理装置的处理液(Q)的飞散量。在搬运用挂钩(16)的铅垂下方设置有蜂巢部件(60)。蜂巢部件(60)通过连结多个空出有六边形的孔的筒状部件而成。在处理液(Q)沿铅垂方向(箭头(α)方向)落下时,该处理液(Q)穿过蜂巢部件的贯通孔。然后,在与液面(H)碰撞时,该处理液(Q)的一部分被反弹。反弹的处理液(Q)的一部分向倾斜方向反弹,因此与蜂巢部件(60)的贯通孔的内壁碰撞。由此,减少了在贯通孔的上表面再次出现的处理液(Q)的量。由此,蜂巢部件(60)实现飞散防止功能。

    表面处理装置、表面处理方法

    公开(公告)号:CN111424269B

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN201911357841.7

    申请日:2019-12-25

    IPC分类号: C23C18/38 C23C18/16

    摘要: 本发明提供表面处理装置,减少浇流式的表面处理装置的处理液(Q)的飞散量。在搬运用挂钩(16)的铅垂下方设置有蜂巢部件(60)。蜂巢部件(60)通过连结多个空出有六边形的孔的筒状部件而成。在处理液(Q)沿铅垂方向(箭头(α)方向)落下时,该处理液(Q)穿过蜂巢部件的贯通孔。然后,在与液面(H)碰撞时,该处理液(Q)的一部分被反弹。反弹的处理液(Q)的一部分向倾斜方向反弹,因此与蜂巢部件(60)的贯通孔的内壁碰撞。由此,减少了在贯通孔的上表面再次出现的处理液(Q)的量。由此,蜂巢部件(60)实现飞散防止功能。

    线路板的制造方法及用该制造方法制造的线路板

    公开(公告)号:CN106661734B

    公开(公告)日:2022-02-25

    申请号:CN201580047825.1

    申请日:2015-09-14

    摘要: 本发明公开了一种线路板的制造方法。在将形成有导通孔和沟道二者中至少一方的被处理基板浸渍在以下化学镀液中的状态下,对被处理基板进行化学镀,由此将金属埋入导通孔和沟道二者中至少一方内。该线路板的制造方法至少包括以下工序:将化学镀液供向被处理基板的下方的工序、让含氧气体往已供到被处理基板的下方的化学镀液内扩散的工序、以及让镀液从被处理基板的上方溢出来的工序。

    表面处理装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111424268B

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN201911355641.8

    申请日:2019-12-25

    IPC分类号: C23C18/38 C23C18/16

    摘要: 本发明提供表面处理装置,减少浇流式的表面处理装置的处理液的飞散量。在各处理室的入口侧和出口侧具有膜形成机构(110)。膜形成机构(110)以流量5L/min~10L/min喷射不间断的0.01MPa程度的层流状的液体。该液体膜防止在飞散防止部件(60)的表面反弹的液滴弹起而进入处理室。即使板状工件(10)晃动,由于由膜形成机构(110)成的膜是液体,因此即使板状工件(10)与液体膜碰撞,液体也会沿板状工件(10)流动。由此,会减小板状工件(10)的晃动。减小各处理室内的空气向搬运方向的流入量。

    表面处理装置
    9.
    发明公开
    表面处理装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN117070928A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202311055150.8

    申请日:2019-12-25

    IPC分类号: C23C18/38 C23C18/16

    摘要: 本发明提供表面处理装置,减少浇流式的表面处理装置的处理液(Q)的飞散量。在搬运用挂钩(16)的铅垂下方设置有蜂巢部件(60)。蜂巢部件(60)通过连结多个空出有六边形的孔的筒状部件而成。在处理液(Q)沿铅垂方向(箭头(α)方向)落下时,该处理液(Q)穿过蜂巢部件的贯通孔。然后,在与液面(H)碰撞时,该处理液(Q)的一部分被反弹。反弹的处理液(Q)的一部分向倾斜方向反弹,因此与蜂巢部件(60)的贯通孔的内壁碰撞。由此,减少了在贯通孔的上表面再次出现的处理液(Q)的量。由此,蜂巢部件(60)实现飞散防止功能。

    表面处理装置
    10.
    发明公开
    表面处理装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN111424268A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201911355641.8

    申请日:2019-12-25

    IPC分类号: C23C18/38 C23C18/16

    摘要: 本发明提供表面处理装置,减少浇流式的表面处理装置的处理液的飞散量。在各处理室的入口侧和出口侧具有膜形成机构(110)。膜形成机构(110)以流量5L/min~10L/min喷射不间断的0.01MPa程度的层流状的液体。该液体膜防止在飞散防止部件(60)的表面反弹的液滴弹起而进入处理室。即使板状工件(10)晃动,由于由膜形成机构(110)成的膜是液体,因此即使板状工件(10)与液体膜碰撞,液体也会沿板状工件(10)流动。由此,会减小板状工件(10)的晃动。减小各处理室内的空气向搬运方向的流入量。