- 专利标题： 光源设备、照明装置、曝光装置和用于制造物品的方法
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申请号： CN202010034430.0申请日： 2020-01-14
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公开(公告)号： CN111503533B公开(公告)日： 2023-11-21
- 发明人: 大阪昇 , 大枝洋一
- 申请人： 佳能株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国贸促会专利商标事务所有限公司
- 代理商 宋岩
- 优先权： 2019-015844 2019.01.31 JP
- 主分类号： F21K9/20
- IPC分类号： F21K9/20 ; F21V5/04 ; F21V14/06 ; F21V19/00 ; G03F7/20 ; F21Y115/10
公开/授权文献
- CN111503533A 光源设备、照明装置、曝光装置和用于制造物品的方法 公开/授权日：2020-08-07
