发明公开
CN111564385A 旋转清洗装置
审中-公开
- 专利标题: 旋转清洗装置
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申请号: CN202010079693.3申请日: 2020-02-04
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公开(公告)号: CN111564385A公开(公告)日: 2020-08-21
- 发明人: 前岛信 , 大波豪 , 中塚敦
- 申请人: 株式会社迪思科
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社迪思科
- 当前专利权人: 株式会社迪思科
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 乔婉; 于靖帅
- 优先权: 2019-023352 2019.02.13 JP
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; H01L21/687
摘要:
提供旋转清洗装置,其确保干燥的被清洗物不会再次沾湿。旋转清洗装置(1)具有:能够水平移动的喷嘴(60),其喷射清洗水与空气的混合液;飞散防止罩(5),其围绕工作台(30),以便使欲从旋转的工作台飞散的混合液向下方流动;以及单元(16),其使防止罩升降。防止罩包含:环状的围绕板(51),其形成为剖面从能够供工作台通过的开口(50)呈逐渐展开状倾斜;侧板(52),其包围围绕板,在工作台升降方向上延伸;以及上板(53),其将侧板和围绕板连接,该旋转清洗装置还具有飞散防止部(7),在从喷嘴喷射空气而使清洗后的被清洗物外周缘(Wd)干燥时,为了使上板的上表面上所积存的水不飞溅,该飞散防止部使空气的势力不作用于上板的上表面上所积存的水。
IPC分类: