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公开(公告)号：CN107895708B
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN201710864989.4
申请日：2017-09-22
申请人： 株式会社迪思科
发明人： 中塚敦
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683
摘要： 提供搬送垫和晶片的搬送方法，在利用搬送垫对晶片进行搬送的情况下，不对搬送垫和空气流通的配管路径进行变更，就能够进行搬送垫对晶片的接触保持和非接触保持。搬送垫(1)具有：空气喷出口(100)，其形成于保持面(10b)，沿着保持面(10b)喷出空气；以及槽(101)，其使从空气喷出口(100)喷出的空气朝向保持面(10b)的外周缘呈直线状流动，利用在槽(101)中流动的空气的流量对因空气在槽(101)中流动而产生在槽(101)的周围的负压的强弱进行调整，从而利用保持面(10b)对晶片进行保持。
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公开(公告)号：CN116259573A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202211546274.1
申请日：2022-12-05
申请人： 株式会社迪思科
发明人： 中塚敦
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/683 , H01L21/67
摘要： 本发明提供机械手，即使盒的搁板与搁板的距离小，机械手也能够不碎裂地吸引保持晶片而出入。机械手(6)是板状的机械手，其安装于机器人(1)，并且在吸附面(60)上具有对呈穹顶状弯曲的晶片(90)的凸球面进行吸引保持的吸引口(62)，其中，该机械手具有：安装部(61)，其配置于后端，向机器人安装；以及第1吸引部(64)和第2吸引部(65)，第1、第2吸引部作为机械手的前端侧，按照成为两股的方式形成，配置有对晶片进行吸引的吸引口(62)，第1吸引部(64)和第2吸引部(65)交替地形成有多个缝(640)(缝(650))，以使得第1、第2吸引部能够沿着晶片的凸球面像手指那样屈曲。
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公开(公告)号：CN115805600A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211051735.8
申请日：2022-08-31
申请人： 株式会社迪思科
发明人： 中塚敦
摘要： 本发明提供机器人手，其能够以完全非接触的方式对晶片进行保持。机器人手包含：非接触保持部，其具有从中央朝向外周呈放射状喷射空气的第1空气喷射口，从第1空气喷射口喷射的空气呈放射状流动而产生负压，从而以非接触的方式对晶片进行保持；以及外周支承部，其具有按照朝向非接触保持部所保持的晶片的中心的方式配置且向晶片的外周缘喷射空气的第2空气喷射口，通过从第2空气喷射口喷射的空气对晶片进行支承以使得晶片不移动。
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公开(公告)号：CN107891427B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN201710864986.0
申请日：2017-09-22
申请人： 株式会社迪思科
发明人： 中塚敦
摘要： 提供机器人手臂和搬送机器人，使加工屑不会附着。板状的机器人手臂(2)具有第一保持单元(21)，其沿着一个面(211a)使空气流动而对晶片进行非接触吸附保持；和第二保持单元(22)，其在另一个面(221a)上对晶片进行吸引保持，保持单元(21)具有：第一板部件(211)；槽(213)，其形成于一个面，其一端向板部件的外周开口；喷出口(214)，其从槽的另一端朝向一端喷出空气；和提供路(215)，其形成于保持单元内部，将喷出口和安装部(12)所具有的第一连接口(216)连通，保持单元(22)具有：第二板部件(221)；吸引口(224)，其将另一个面和吸引源(61)连通；以及吸引路(223)，其形成于保持单元内部，将吸引口(224)和安装于机器人(1)的安装部(12)所具有的第二连接口(226)连通。
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公开(公告)号：CN116021357A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202211285057.1
申请日：2022-10-20
申请人： 株式会社迪思科
摘要： 本发明提供设置方法，不追加传感器而能够在短时间内进行设置。使升降机构从保持面所保持的晶片的上方下降，存储磨削磨具的下表面与晶片的上表面接触时的磨削机构的高度。并且，根据该高度而求出磨削磨具的下表面与保持面接触时的磨削机构的高度即原点高度。这样，能够不使用设置块而进行求出磨削机构的原点高度的设置。因此，能够在短时间内实施设置。
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公开(公告)号：CN115319591A
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210438071.4
申请日：2022-04-25
申请人： 株式会社迪思科
摘要： 本发明提供磨削磨轮用治具和磨削磨轮用盒，在将磨削磨轮安装于安装座时能够从安装座的下方插入螺栓。磨削磨轮用治具在将磨削磨轮向圆板状的安装座的下表面侧进行安装时使用，该磨削磨轮具有配置于圆环状的基台的一个面侧的环状的磨具部，该安装座安装在主轴的下端部，该磨削磨轮用治具具有：有底圆筒状的磨具收纳部，其收纳环状的磨具部；圆环状的基台收纳部，其在磨具收纳部的高度方向上位于与磨具收纳部的底部相反的一侧，具有比磨具收纳部的外径大的外径，能够收纳基台的至少一部分；和圆筒状的多个螺栓收纳部，该多个螺栓收纳部分别设置于基台收纳部的底部，能够收纳螺栓的头部，各螺栓收纳部在底部具有能够向螺栓的头部插入紧固工具的开口。
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公开(公告)号：CN111564385A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN202010079693.3
申请日：2020-02-04
申请人： 株式会社迪思科
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687
摘要： 提供旋转清洗装置，其确保干燥的被清洗物不会再次沾湿。旋转清洗装置(1)具有：能够水平移动的喷嘴(60)，其喷射清洗水与空气的混合液；飞散防止罩(5)，其围绕工作台(30)，以便使欲从旋转的工作台飞散的混合液向下方流动；以及单元(16)，其使防止罩升降。防止罩包含：环状的围绕板(51)，其形成为剖面从能够供工作台通过的开口(50)呈逐渐展开状倾斜；侧板(52)，其包围围绕板，在工作台升降方向上延伸；以及上板(53)，其将侧板和围绕板连接，该旋转清洗装置还具有飞散防止部(7)，在从喷嘴喷射空气而使清洗后的被清洗物外周缘(Wd)干燥时，为了使上板的上表面上所积存的水不飞溅，该飞散防止部使空气的势力不作用于上板的上表面上所积存的水。
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公开(公告)号：CN107895708A
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201710864989.4
申请日：2017-09-22
申请人： 株式会社迪思科
发明人： 中塚敦
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6779 , H01L21/6838
摘要： 提供搬送垫和晶片的搬送方法，在利用搬送垫对晶片进行搬送的情况下，不对搬送垫和空气流通的配管路径进行变更，就能够进行搬送垫对晶片的接触保持和非接触保持。搬送垫(1)具有：空气喷出口(100)，其形成于保持面(10b)，沿着保持面(10b)喷出空气；以及槽(101)，其使从空气喷出口(100)喷出的空气朝向保持面(10b)的外周缘呈直线状流动，利用在槽(101)中流动的空气的流量对因空气在槽(101)中流动而产生在槽(101)的周围的负压的强弱进行调整，从而利用保持面(10b)对晶片进行保持。
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公开(公告)号：CN107891427A
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201710864986.0
申请日：2017-09-22
申请人： 株式会社迪思科
发明人： 中塚敦
CPC分类号： B25J11/00 , B25J11/0095 , B25J15/0616
摘要： 提供机器人手臂和搬送机器人，使加工屑不会附着。板状的机器人手臂(2)具有第一保持单元(21)，其沿着一个面(211a)使空气流动而对晶片进行非接触吸附保持；和第二保持单元(22)，其在另一个面(221a)上对晶片进行吸引保持，保持单元(21)具有：第一板部件(211)；槽(213)，其形成于一个面，其一端向板部件的外周开口；喷出口(214)，其从槽的另一端朝向一端喷出空气；和提供路(215)，其形成于保持单元内部，将喷出口和安装部(12)所具有的第一连接口(216)连通，保持单元(22)具有：第二板部件(221)；吸引口(224)，其将另一个面和吸引源(61)连通；以及吸引路(223)，其形成于保持单元内部，将吸引口(224)和安装于机器人(1)的安装部(12)所具有的第二连接口(226)连通。
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