一种基于电容法测量光伏电池板积灰厚度的系统及方法，其系统包括测量系统和吹灰系统，测量系统包括积灰模拟平台、滑轨、电容数字转换器、上位机以及电子显微测距仪，滑轨包括两根y轴滑轨和一根x轴滑轨，x轴滑轨上滑动连接有位置调节器，位置调节器前端固定安装有电容传感器探头，其测量方法为，在积灰模拟平台上形成积灰厚度随时间连续变化的灰垢层，测量积灰模拟平台与电容传感器探头之间的电容值，再测量积灰模拟平台的积灰厚度值，上位机获取积灰厚度与电容值的拟合标定对照曲线，进而通过现场测得的电容值来直接反应得出光伏电池板的积灰厚度，本发明较传统人工巡检、图像识别及时间预测等方法，具有更高的检测精度及更快的响应速度。