发明公开
- 专利标题: 一种钼铌合金靶材及其制备方法
-
申请号: CN202010493086.1申请日: 2020-06-03
-
公开(公告)号: CN111590071A公开(公告)日: 2020-08-28
- 发明人: 候庆龙 , 吴荣祯 , 张科 , 蔡小勇 , 安子顺 , 张梦兰
- 申请人: 福建阿石创新材料股份有限公司
- 申请人地址: 福建省福州市长乐区航城街道琴江村太平里169号
- 专利权人: 福建阿石创新材料股份有限公司
- 当前专利权人: 福建阿石创新材料股份有限公司
- 当前专利权人地址: 福建省福州市长乐区航城街道琴江村太平里169号
- 代理机构: 北京高沃律师事务所
- 代理商 赵晓琳
- 主分类号: B22F3/10
- IPC分类号: B22F3/10 ; B22F3/18 ; B22F3/24 ; C22C27/04 ; C22C1/04
摘要:
本发明涉及粉末冶金制备技术领域,提供了一种钼铌合金靶材及其制备方法。本发明提供的制备方法包括以下步骤:将钼粉和铌粉混合后压制,得到生坯;所述钼粉的平均颗粒尺寸为2~5μm,铌粉的平均颗粒尺寸≤2μm;将所述生坯进行真空烧结处理,得到钼铌烧结体;将所述钼铌烧结体依次进行塑性变形和真空热处理,得到钼铌合金靶材。本发明提供的方法能够制备得到延展性好、致密度高的钼铌合金靶材,实施例结果表明,本发明制备得到的钼铌合金靶材在长度方向上可延伸3~5倍没有裂纹出现,能够从500mm延伸至2800mm,致密度可达99%。且本发明提供的方法无需进行热等静压烧结处理,大幅度的降低了生产成本。
公开/授权文献
- CN111590071B 一种钼铌合金靶材及其制备方法 公开/授权日:2022-04-12