一种钼铌合金靶材及其制备方法
摘要:
本发明涉及粉末冶金制备技术领域,提供了一种钼铌合金靶材及其制备方法。本发明提供的制备方法包括以下步骤:将钼粉和铌粉混合后压制,得到生坯;所述钼粉的平均颗粒尺寸为2~5μm,铌粉的平均颗粒尺寸≤2μm;将所述生坯进行真空烧结处理,得到钼铌烧结体;将所述钼铌烧结体依次进行塑性变形和真空热处理,得到钼铌合金靶材。本发明提供的方法能够制备得到延展性好、致密度高的钼铌合金靶材,实施例结果表明,本发明制备得到的钼铌合金靶材在长度方向上可延伸3~5倍没有裂纹出现,能够从500mm延伸至2800mm,致密度可达99%。且本发明提供的方法无需进行热等静压烧结处理,大幅度的降低了生产成本。
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