一种复合强化的银合金靶材及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN118007080A

    公开(公告)日:2024-05-10

    申请号:CN202410199489.3

    申请日:2024-02-23

    摘要: 本发明提供了一种复合强化的银合金靶材及其制备方法和应用,属于银合金靶材技术领域。本发明通过在银靶材中添加入微量的标准电位较银低的锌、锗、铜和锰元素来改善银靶材的耐蚀性能;并且,锌、锗、铜和锰在银中固溶,具有提高晶粒的强度,可以细化晶粒,避免镀膜表面粗糙产生快速腐蚀而导致的反射率、耐蚀性和耐热性下降的不良后果。实施例结果显示,本发明提供的复合强化的银合金靶材制备的薄膜的晶粒尺寸较小,能够达到39μm;抗氧化性测试能够达到40min,具有较高的抗氧化性;耐热性和耐蚀性测试结果表明具有优异的耐热性和耐蚀性;反射率能够达到96.2%。

    一种超细纳米晶银合金及其制备方法

    公开(公告)号:CN116815089A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202310802151.8

    申请日:2023-07-03

    IPC分类号: C22F1/14 C22C5/06

    摘要: 本发明提供了一种超细纳米晶银合金及其制备方法,属于超细晶制备技术领域。本发明提供的超细纳米晶银合金的制备方法,先对银合金进行轧制,通过轧制使银合金中原本的晶粒破碎,然后通过退火处理,使破碎的晶粒转变为等轴晶,接着在超低温下进行交叉挤压,通过超低温来抑制恢复再结晶,通过交叉挤压,使等轴晶破碎为超细等轴晶,再利用超低温轧制使晶粒进一步细化,最后通过退火处理使轧制完破碎的晶粒再结晶,从而得到了晶粒尺寸为纳米级的超细纳米晶银合金;超细纳米晶银合金的微观组织均匀,强度提升明显,且导电性和延展性好,同时制备方法简单,易于大型推广,在工业中拥有广泛的应用前景。

    一种银靶材的绑定方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116713548A

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN202310882360.8

    申请日:2023-07-18

    IPC分类号: B23K1/00 B23K1/20

    摘要: 本发明提供了一种银靶材的绑定方法,涉及功能材料制备技术领域。本发明在银靶材与铟、锡、锌锡合金焊料之间增加过渡镍合金薄膜,通过镍合金薄膜的防护作用,阻止了铟、锡以及锌锡合金焊料与纯银靶材的接触和固溶侵蚀,然后再执行正常钎焊工艺,解决了纯银靶材钎焊焊接的问题,可保证焊接结合率和焊接强度达到预期要求。实施例的结果表明,经绑定后,所获得银靶材界面无侵蚀、结合强度高,焊接结合率大于95%,焊接强度大于6MPa。本发明在制造成本、产品性能、规模化生产和环境保护等方面都展现出显著的竞争优势。

    一种靶材的修复方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116676575A

    公开(公告)日:2023-09-01

    申请号:CN202310799763.6

    申请日:2023-07-03

    摘要: 本发明提供了一种靶材的修复方法,包括如下步骤:在待修复靶材的修复区的沟槽内浇铸与靶材成分相同的合金熔体,得到一次修复靶材;对所述一次修复靶材的修复区进行摩擦处理,得到摩擦处理的靶材;对所述摩擦处理的靶材进行去应力退火处理,得到修复的靶材。本发明采用浇铸法,利用与待修复靶材成分相同的合金熔体进行修复,能够保证修复区与原靶材的界面为焊接态的冶金结合,不会出现脱层等现象,能够实现废弃靶材的反复使用,大幅度提高了靶材的利用率;为了消除浇铸修复区的缺陷,细化其晶粒,对修复区进行摩擦处理,并随后进行去应力退火,有效解决了靶材修复区晶粒粗大的问题,保证了溅射靶材的均匀性。

    一种从ITO残靶/废靶中回收ITO粉末的方法

    公开(公告)号:CN111620367B

    公开(公告)日:2022-06-28

    申请号:CN202010512131.3

    申请日:2020-06-08

    摘要: 本发明提供了一种从ITO残靶/废靶中回收ITO粉末的方法,涉及光电材料循环利用技术领域。本发明通过ITO残靶/废靶表面清洁和酸洗、热应力破碎处理、环辊磨破碎处理、气流破碎处理和振动球磨处理,将ITO残靶/废靶加工成粒径为100~500nm的ITO纳米粉末。本发明提供的方法将ITO残靶/废靶加工成可直接用于ITO靶材制备的ITO粉末,且过程简单、节能环保、生产成本低,适合大规模生产;同时,回收得到的ITO粉末纯度很高,可达99.99%,也大大提高了废靶的回收率,废靶的回收率大于98%。

    一种超导靶材及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN114105631A

    公开(公告)日:2022-03-01

    申请号:CN202111536005.2

    申请日:2021-12-15

    摘要: 本发明提供了一种超导靶材的制备方法,包括以下步骤:将碳酸钡、氧化铜、氧化钇和造孔剂混合后进行第一压制成型,得到坯体;或者将碳酸钡、氧化铜和氧化钇混合后进行第二压制成型,得到蜂窝状坯体;将所述坯体或蜂窝状坯体在氧气气氛中进行预烧结后破碎,得到粉体;将所述粉体进行第三压制成型和烧结,得到超导靶材。本发明将预烧结的块体制备成蜂窝状,或者加入造孔剂,在预烧结时形成多孔结构,增加氧气交换面积,使碳酸钡充分分解成氧化钡和二氧化碳,转化为Y1Ba2Cu3O7相,有效降低了可逆反应的进行,提高了超导相比例,再配合后续的压制成型和烧结,提高了超导靶材的致密度。

    一种可均匀溅射旋转硅靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN112899628A

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN202110060541.3

    申请日:2021-01-18

    发明人: 林志河

    IPC分类号: C23C14/35 C23C4/131 C23C4/04

    摘要: 本发明提供了一种可均匀溅射旋转硅靶材及其制备方法,属于硅靶材技术领域。本发明提供的可均匀溅射旋转硅靶材自内而外包括衬管、位于所述衬管外表面的自粘结层、位于所述自粘结层表面两端的第一磁性材料层和第二磁性材料层、以及硅外层;所述第一磁性材料层靠近自粘结层的第一端口且距离自粘结层的第一端口外缘3~5mm,所述第二磁性材料层靠近自粘结层的第二端口且距离自粘结层的第二端口外缘3~5mm。本发明通过在自粘结层表面两端设置磁性材料层,能够抵消在磁控溅射过程中磁棒两端产生的磁场,从而降低两端溅射速率,使硅靶材两端使用程度和中间保持一致。

    一种银铜合金靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN110318024B

    公开(公告)日:2021-04-06

    申请号:CN201910689041.9

    申请日:2019-07-29

    IPC分类号: C23C14/34 C22C5/08

    摘要: 本发明提供了一种银铜合金靶材及其制备方法,属于溅射靶材技术领域。本发明提供的银铜合金靶材的制备方法,包括以下步骤:将铜和银在保护气氛下进行熔炼,得到液态合金;将所述液态合金进行喷射沉积处理,得到银铜合金铸锭;将所述银铜合金铸锭依次进行均匀化退火、ECAP挤压、低温退火、镦粗变形和轧制处理,得到银铜合金粗锭;将所述银铜合金粗锭进行再结晶退火处理,得到银铜合金靶材。本发明制得的银铜合金靶材具有晶粒尺寸细小、晶粒分布均匀、成分均匀和致密性高的特点。

    一种靶材的制作方法
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109023269B

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN201811146501.5

    申请日:2018-09-29

    IPC分类号: C23C14/34 C23C14/35

    摘要: 本发明公开一种靶材的制作方法。所述制作方法包括:采用电刷镀方式在靶坯的接触面制作第一膜层;采用电刷镀方式在背板的接触面制作第二膜层;所述第二膜层与所述第一膜层材质相同;用自来水将所述靶坯和所述背板冲净、吹干;将所述靶坯和所述背板叠合固定在加热平台上;叠合时所述靶坯的接触面的第一膜层与所述背板的接触面的第二膜层接触;打开所述加热平台,调节温度范围,所述温度范围为高于所述第一膜层和第二膜层的熔点,且小于所述靶坯和所述背板的熔点的温度范围;保温保压1小时后关闭所述加热平台;冷却后,完成所述靶坯与所述背板的结合,完成靶材的制作。采用本发明靶材的制作方法,可以提高靶材的结合率,提高靶材的质量。

    一种靶材用水路背板的制备方法

    公开(公告)号:CN112045309A

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN202010977393.7

    申请日:2020-09-17

    IPC分类号: B23K26/346 B23K20/12

    摘要: 本发明公开了一种靶材用水路背板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在铜背板主体上加工T型槽,T型槽包括由上至下排列的盖板槽和水槽;(2)在盖板槽上放置盖板,得到待焊接水路铜背板;(3)将焊接工件固定在刚性工装上;(4)在待焊接水路铜背板的上方设置激光器;(5)先对待焊接水路铜背板进行点焊;(6)进行一次焊接;(7)进行二次焊接:将焊针逐渐旋转入接缝,使焦点位于铜背板主体和盖板之间的接缝处,然后同时开启搅拌摩擦头和激光器,并同时向焊接方向同步按相同的进给量进给搅拌摩擦头和焦点。本发明靶材用水路背板的制备方法提高了靶材用水路背板的焊接效率和搅拌摩擦头的使用寿命。