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公开(公告)号：CN108931133B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN201811145904.8
申请日：2018-09-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： F27B14/06 , F27B14/08 , C04B35/64 , C04B35/453 , C04B35/46 , C04B35/457 , C04B35/495
摘要： 本发明公开了一种离心烧结制造靶材的装置，包括外壳体、设置于所述外壳体内部的电阻加热套、模具和驱动电机，其中，所述模具设置于所述电阻加热套的内部加热腔内，所述模具底部设置有一旋转底座，所述驱动电机设置于所述外壳体底部，所述驱动电机的转动轴与所述旋转底座连接；所述外壳体的首端设置为开合门结构，通过所述开合门能够实现所述加热腔的开合；本发明提供的离心烧结制造靶材的装置能够制造出高密度管靶材，节省原材料，省去掏孔工序，提高良率，大大降低成本。
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公开(公告)号：CN111632730A
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN202010511661.6
申请日：2020-06-08
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种挤压磨设备和一种从ITO残靶/废靶中回收ITO粉末的方法，涉及光电材料循环利用技术领域。本发明提供的挤压磨设备包括进料口、挤压腔、振动装置、振动弹簧、吸粉装置和筛机，挤压腔的腔体内部竖向间隔排布有挤压饼。本发明提供的挤压磨设备结构简单、成本低，能够将颗粒从mm级研磨到μm级。本发明提供了从ITO残靶/废靶中回收ITO粉末的方法，通过表面清洁和酸洗、水淬处理、挤压磨碎处理和振动球磨处理，将ITO残靶/废靶加工成可直接用于ITO靶材制备的粒径为100～500nm的ITO粉末，过程简单、节能环保、成本低，适合大规模生产，回收得到的ITO粉末纯度高达99.99％，废靶回收率大于98％。
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公开(公告)号：CN111593216A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010493262.1
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种铝钪合金靶材的及其制备方法和应用及真空自耗电弧炉，涉及靶材制备技术领域。本发明提供的铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝源和钪源混合后进行压制和组焊，将所得组焊电极在水冷铜结晶器中进行两次真空电弧熔炼；然后进行重复热机械加工，机加工和绑定，得到铝钪合金靶材，所述水冷铜结晶器带有水套和稳弧线圈。本发明在水冷铜结晶器中两次真空电弧熔炼，避免了采用传统熔炼炉中的耐火材料对钪的污染，洁净度高，含氧量低；由于水冷铜结晶器的快速冷却及后续热机械加工，改善了铝钪合金靶材的组织并修复缺陷，所得铝钪合金靶材的微观组织均匀，平均晶粒均匀，无气孔和偏析明显缺陷，致密度和铝钪合金靶材成品率高。
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公开(公告)号：CN111500992A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010497464.3
申请日：2020-06-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用，涉及铝钪合金制备技术领域。本发明提供的铝钪合金靶坯的制备方法，包括以下步骤：将铝源和钪源置于水冷铜坩埚中，抽真空后充入惰性气体，重复进行电弧熔炼，得到熔融合金液；在惰性气体保护下将所述熔融合金液冷凝，得到铝钪合金铸锭；将所述铝钪合金铸锭依次进行电磁搅拌和重复热机械处理，得到铝钪合金靶坯。本发明在真空、惰性气氛下进行电弧熔炼，减小了铝钪合金中的氧含量，重复电弧熔炼、电磁搅拌和重复热机械加工，改善了铝钪合金铸态的组织并修复其缺陷，利用的水冷铜坩埚冷却速度快，减小了铝钪合金中钪的偏析，靶坯晶粒均匀，无偏析，微观组织均匀，致密度高、成膜性能好。
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公开(公告)号：CN116676575A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310799763.6
申请日：2023-07-03
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司 , 福建理工大学
摘要： 本发明提供了一种靶材的修复方法，包括如下步骤：在待修复靶材的修复区的沟槽内浇铸与靶材成分相同的合金熔体，得到一次修复靶材；对所述一次修复靶材的修复区进行摩擦处理，得到摩擦处理的靶材；对所述摩擦处理的靶材进行去应力退火处理，得到修复的靶材。本发明采用浇铸法，利用与待修复靶材成分相同的合金熔体进行修复，能够保证修复区与原靶材的界面为焊接态的冶金结合，不会出现脱层等现象，能够实现废弃靶材的反复使用，大幅度提高了靶材的利用率；为了消除浇铸修复区的缺陷，细化其晶粒，对修复区进行摩擦处理，并随后进行去应力退火，有效解决了靶材修复区晶粒粗大的问题，保证了溅射靶材的均匀性。
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公开(公告)号：CN111620367B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202010512131.3
申请日：2020-06-08
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种从ITO残靶/废靶中回收ITO粉末的方法，涉及光电材料循环利用技术领域。本发明通过ITO残靶/废靶表面清洁和酸洗、热应力破碎处理、环辊磨破碎处理、气流破碎处理和振动球磨处理，将ITO残靶/废靶加工成粒径为100～500nm的ITO纳米粉末。本发明提供的方法将ITO残靶/废靶加工成可直接用于ITO靶材制备的ITO粉末，且过程简单、节能环保、生产成本低，适合大规模生产；同时，回收得到的ITO粉末纯度很高，可达99.99％，也大大提高了废靶的回收率，废靶的回收率大于98％。
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公开(公告)号：CN109023269B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201811146501.5
申请日：2018-09-29
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明公开一种靶材的制作方法。所述制作方法包括：采用电刷镀方式在靶坯的接触面制作第一膜层；采用电刷镀方式在背板的接触面制作第二膜层；所述第二膜层与所述第一膜层材质相同；用自来水将所述靶坯和所述背板冲净、吹干；将所述靶坯和所述背板叠合固定在加热平台上；叠合时所述靶坯的接触面的第一膜层与所述背板的接触面的第二膜层接触；打开所述加热平台，调节温度范围，所述温度范围为高于所述第一膜层和第二膜层的熔点，且小于所述靶坯和所述背板的熔点的温度范围；保温保压1小时后关闭所述加热平台；冷却后，完成所述靶坯与所述背板的结合，完成靶材的制作。采用本发明靶材的制作方法，可以提高靶材的结合率，提高靶材的质量。
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公开(公告)号：CN111607798A
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN202010512161.4
申请日：2020-06-08
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明属于靶材制造技术领域，特别涉及一种铝靶材反溅膜的清理方法。本发明提供的铝靶材反溅膜的清理方法，包括以下步骤：采用包裹材料包裹住未解绑铝靶材中的铝残靶面，得到待清理铝靶材；所述包裹材料不与碱液反应；所述未解绑铝靶材包括铝残靶和铜背板；将所述待清理铝靶材的铜背板一面与装载台接触，利用升降板将所述待清理铝靶材固定于装载台上；对所述待清理铝靶材的边缘依次进行碱液处理和水洗。本发明利用碱液与靶材周围的反溅膜发生反应，使铝和碱液形成可溶性产物排出，去除残留碱液，即可清理铜背板上的铝反溅膜，对铝残靶和铜背板无损伤。
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公开(公告)号：CN111485207A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010512101.2
申请日：2020-06-08
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种细晶粒均相高钪含量的铝钪合金烧结靶材及其制备方法和应用，涉及功能材料制备技术领域。本发明方法包括以下步骤：(1)将高纯铝块和高纯钪块混合依次进行真空悬浮熔炼和气雾化，得到雾化铝钪合金粉；所述雾化铝钪合金粉中钪的质量含量为10～60％，所述雾化铝钪合金粉的粒径为30～300μm；(2)将所述雾化铝钪合金粉进行压力烧结，得到所述铝钪合金烧结靶材；所述压力烧结的温度为500～1350℃。采用本发明方法可以获得钪含量高且组织细小均匀的铝钪合金烧结靶材，并提高铝钪合金烧结靶材的致密度、降低氧含量，避免微裂纹、气孔等微观缺陷，制备过程简便，安全环保，成本低，适于规模化生产。
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公开(公告)号：CN110923643A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911389867.X
申请日：2019-12-30
申请人： 福建阿石创新材料股份有限公司
IPC分类号： C23C14/34
摘要： 本发明涉及靶材绑定技术领域，具体涉及一种平面靶材的绑定方法。本发明提供的平面靶材的绑定方法，包括以下步骤：将背板、绑定材料和靶坯依次叠层放置，进行真空绑定，得到绑定后的平面靶材。本发明利用绑定材料与背板之间，绑定材料与靶坯之间的毛细和扩散作用，进行真空绑定，使得靶坯与背板粘接牢固；本发明采用真空绑定，无需定制高功率的加热平台，无需专业的钎焊炉，相比于普通绑定技术效率高，成本低。实施例结果表明，采用本发明提供的绑定方法，有效绑定面积高达97％以上，无明显的孔洞；能够在500～700℃的高温环境中使用。
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