发明授权
- 专利标题： 高计数率电阻板室探测器的制备方法
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申请号： CN202010594355.3申请日： 2020-06-24
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公开(公告)号： CN111650633B公开(公告)日： 2022-07-15
- 发明人: 周意 , 王旭 , 孙勇杰 , 尚伦霖 , 张广安 , 鲁志斌 , 刘建北 , 张志永 , 邵明
- 申请人： 中国科学技术大学
- 申请人地址： 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 专利权人： 中国科学技术大学
- 当前专利权人： 中国科学技术大学
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 孙蕾
- 主分类号： G01T1/26
- IPC分类号： G01T1/26 ; C23C14/35 ; C23C14/06
摘要：
本公开提供一种高计数率电阻板室探测器的制备方法，包括：步骤S1：对玻璃样品进行预处理；步骤S2：在预处理后的玻璃样品表面及孔内制备DLC阻性薄膜，完成DLC阻性玻璃的制备；步骤S3：基于DLC阻性玻璃制备电阻板室结构；以及步骤S4：对电阻板室结构进行封装，完成高计数率电阻板室探测器的制备。
公开/授权文献
- CN111650633A 高计数率电阻板室探测器的制备方法 公开/授权日：2020-09-11
