一种掺镓单晶硅的镓金属加入方法及镓金属放置结构体
摘要:
本发明公开了一种掺镓单晶硅的镓金属加入方法及镓金属放置结构体,结构体包括盖体部分和主体部分,盖体部分上开设有通孔,镓金属置于结构体中;在初投料时,结构体直接放置坩埚目标位,在结构体周围填充硅料,在复投料时,通过塑料管将新的结构体投放至坩埚内复投加料筒中,并在结构体周围填充硅料。本发明可减少员工操作量,提高了镓金属加入的准确性及方便性,同时也避免金属镓高温熔化后与石英反应或在复投加料筒中变为液体后掉落的风险。
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