本发明公开了一种电子背散射衍射的分析方法：根据预设工艺制备标定样品；根据预设工作参数，在扫描电镜下对标定样品进行电子背散射衍射EBSD分析，确定标定样品的目标晶界；采用第一扫描步长对目标晶界进行线扫描分析，获取在线扫描路径上的全部采样点的菊池花样的花样质量BC值；对所有的BC值进行单峰拟合，获得BC值的单峰拟合曲线；确定单峰拟合曲线的半高宽，将半高宽确定为扫描电镜在预设工作参数下的EBSD分析的空间分辨率；根据空间分辨率，确定对待分析样品进行EBSD分析时的目标分析参数。上述方法能够更加方便、快捷地分析出当前工作参数下EBSD的空间分辨率，基于此提高对待分析样品进行EBSD分析的准确性。