离子源电场结构及离子源装置
摘要:
本申请涉及一种离子源电场结构及离子源装置,离子源电场结构包括:包括设于外壳内的阳极部件,在所述阳极部件与外壳之间还设置有一个隔离金属层;所述隔离金属层为与所述阳极部件相对应的环形设计,与所述阳极部件和外壳保持绝缘状态;所述隔离金属层通过所述阳极部件感应一电压的电场,通过该电场对离子源发出的离子束的发射角度进行控制。本申请的技术方案,通过在阳极部件与外壳之间设置的与阳极部件相对应的环形设计的隔离金属层;隔离金属层处于悬浮电位,通过阳极部件感应一电压的电场,通过该电场对离子源发出的离子束的发射角度进行控制;该电场结构可以有效控制离子源的离子束发射角范围,提高了离子源发射离子束的集中效果。
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