一种中红外透过滤光片及其制备方法
摘要:
一种中红外透过滤光片及其制备方法,属于镀膜技术领域。滤光片包括玻璃基底、设于玻璃基底一侧的窄带通膜系、以及设于玻璃基底另一侧的长波通膜系;窄带通膜系包括逐层交替沉积的氢氧化硅/氮氢化硅膜层和氧化硅膜层;长波通膜系包括逐层交替沉积的氢氧化硅/氮氢化硅膜层和氧化硅膜层。方法包括:采用磁控溅射方法在玻璃基底一侧沉积上述窄带通膜系并在玻璃基底另一侧沉积上述长波通膜系。本发明滤光片可在1300-1400nm谱段具有高透过率,同时在350-1280nm谱段、1420-1800nm谱段截止。
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