一种降低位错的全熔高效铸造多晶生产工艺
摘要:
本发明公开了一种降低位错的全熔高效铸造多晶生产工艺,(1)装料时,在坩埚底部撒碎多晶,碎多晶上铺装硅料原生多晶及单多晶回收料;(2)采用铸造多晶炉,隔热笼关闭高温熔化完成,以TC2温度快速上升为标志;(3)熔化完成后,5-15分钟内快速提升隔热笼至12-16cm;(4)熔化完成后,30-90分钟内缓慢降低隔热笼至6-12cm;(5)以一定时间步长分阶段缓慢提升隔热笼高度,在晶锭生长中后期,逐渐升温,完成晶体生长过程;(6)经过退火、冷却两个阶段,将晶锭取出再后续加工;本发明多晶晶锭下截断位置晶粒变小,增加晶界密度,良好的吸收位错增值,长晶中后期增加长晶温度,减缓长晶速率,降低晶体中因结晶潜热过多导致的位错增值,提高多晶硅片转换效率。
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