Invention Grant
- Patent Title: LED/ZnO纳米线阵列集成的光电晶体管芯片及制备方法
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Application No.: CN201910297009.6Application Date: 2019-04-11
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Publication No.: CN111816729BPublication Date: 2021-08-31
- Inventor: 伊晓燕 , 张硕 , 刘志强 , 梁萌 , 冯涛 , 任芳 , 王蕴玉 , 王军喜 , 李晋闽
- Applicant: 中国科学院半导体研究所
- Applicant Address: 北京市海淀区清华东路甲35号
- Assignee: 中国科学院半导体研究所
- Current Assignee: 中国科学院半导体研究所
- Current Assignee Address: 北京市海淀区清华东路甲35号
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 任岩
- Main IPC: H01L31/167
- IPC: H01L31/167 ; H01L31/18

Abstract:
一种LED/ZnO纳米线阵列集成的光电晶体管芯片及其制备方法,该器件通过在UVA波段LED上生长垂直ZnO纳米线阵列,顶端通过石墨烯作为电流扩展层来制作电极。其中LED的N电极作为晶体管栅极,ZnO纳米线阵列一端作为源极,LED的P电极即LED与ZnO异质结界面作为漏极,通过栅极电压大小调节LED发光功率,进一步调控ZnO纳米线阵列的光电导大小。本发明利用ZnO纳米线阵列对近紫外光优良的光敏特性,使LED与ZnO纳米线阵列进行集成,实现了GaN基的光电互联,从而获得了光电集成晶体管芯片。
Public/Granted literature
- CN111816729A LED/ZnO纳米线阵列集成的光电晶体管芯片及制备方法 Public/Granted day:2020-10-23
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IPC分类: