一种利用非晶碳低温制备石墨烯的方法
摘要:
本发明公开了一种利用非晶碳低温制备石墨烯的方法。在真空腔体中使用Ni、Fe、Co其中一种磁性金属作为基台,在基台处设置电磁铁,在加偏压的情况下,基台处形成了由闭合磁场约束的等离子氛围,基底置于基台上,基台元素被反溅射到基底上,依次通过反溅射基台、溅射碳靶材或者离化含碳气体,在基底上沉积磁性金属/非晶碳多层薄膜,然后使用热处理炉,通过控制退火温度和退火时间,最终得到不同层数和不同结晶度的石墨烯。使用该方法制备的石墨烯层数可控、质量高、均匀性好,同时操作简便、成本低廉。
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