发明公开
CN111850629A 一种无氰碱铜电镀液及电镀方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种无氰碱铜电镀液及电镀方法
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申请号: CN202010692867.3申请日: 2020-07-17
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公开(公告)号: CN111850629A公开(公告)日: 2020-10-30
- 发明人: 李树泉 , 闵星 , 谢金平 , 李宁 , 范小玲
- 申请人: 广东致卓环保科技有限公司
- 申请人地址: 广东省佛山市南海区狮山镇长虹岭工业园长兴西路3号(车间8)A区
- 专利权人: 广东致卓环保科技有限公司
- 当前专利权人: 广东致卓环保科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省佛山市南海区狮山镇长虹岭工业园长兴西路3号(车间8)A区
- 代理机构: 佛山市禾才知识产权代理有限公司
- 代理商 刘羽波; 资凯亮
- 主分类号: C25D3/38
- IPC分类号: C25D3/38
摘要:
本发明公开了一种无氰碱铜电镀液及电镀方法,所述无氰碱铜电镀液包括含量为50~100g/L的羟基乙叉二膦酸、4~10g/L的可溶性铜盐、50~90g/L的导电盐、0.4~1.0g/L的表面活性剂和30~50g/L的辅助络合剂。所述无氰碱铜电镀液,具有较好的分散力和深镀能力,对阴极表面的润湿能力好,减小了镀液与基体界面的表面张力,镀液性能优异,采用所述无氰碱铜电镀液的电镀效率高,能够获得的孔隙率低、镀层质量良好的打底镀层。