一种多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置与方法。其主要元件包括：近红外飞秒激光器、分束片、延时线、缩束系统、倍频晶体、二分之一波片、四分之一波片、聚焦透镜、气腔、滤波片等。在该装置中，近红外飞秒激光经过一块分束片分成两束光，一束作为近红外泵浦光，另一束用于产生波长可调谐的紫外泵浦光。近红外泵浦光在CO气腔中进行分子电离和双光子共振激发，并与紫外泵浦光进行共振四波混频输出窄带DUV/VUV相干辐射。通过改变紫外泵浦光的椭圆偏振度，可以产生任意偏振态的窄带DUV/VUV相干辐射。本发明能够实现多个波长、窄线宽、偏振灵活可控的窄带DUV/VUV相干辐射。