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公开(公告)号：CN109100262B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201811105266.7
申请日：2018-09-21
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01N9/24
摘要： 一种飞秒激光成丝等离子体密度测量装置和测量方法，该装置中飞秒激光经过两块分束片分成三束光，分别作为泵浦光，第一探测光P1，第二探测光P2。泵浦光在气腔中成丝形成等离子体通道，第一探测光P1经过等离子体通道作为等离子体引入变化量的载体，再由第二探测光P2通过互相关测量观测出变化量的数值从而反推出等离子体密度。其次通过侧向荧光分布解决等离子体纵向分布不均匀问题。本发明具有时间分辨能力高、调节方便和测量精确的特点。
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公开(公告)号：CN107335923B
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201710433180.6
申请日：2017-06-09
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： B23K26/352 , B23K26/046
摘要： 一种飞秒激光时空聚焦金属表面高通量加工装置和加工方法，本方明的核心是利用时空聚焦技术对飞秒激光脉冲进行空间整形，操控飞秒激光聚焦光斑实现较大尺寸并且有效避免空气电离，在金属材料表面实现高通量结构加工。与普通的空间聚焦相比，时空聚焦整形后的飞秒激光脉冲与材料相互作用能有效地抑制焦点处飞秒光束的非线性自聚焦效应，从而避免自聚焦和光电离等非线性过程对金属材料表面结构加工质量的影响。本发明具有简单、有效、高速的特点，能够实现高通量精密结构加工，在激光表面加工和打标等领域有重要的潜在应用价值。
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公开(公告)号：CN108710267A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810490930.8
申请日：2018-05-21
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种基于光刻和化学机械抛光的薄膜微光学结构的制备方法，包括在薄膜表面镀金属层、光刻选择性去除金属膜、化学机械抛光以及化学腐蚀等步骤。本发明方法制备的片上微光学器件具有极高的表面光洁度，极低的光学损耗。该方法适用于各种片上薄膜(包含但不限于铌酸锂单晶薄膜、石英薄膜、硅薄膜、二氧化硅薄膜、金刚石薄膜等)上制备高品质的微光学结构(包含但不限于微盘腔、微环腔、光波导及其耦合器件)。
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公开(公告)号：CN108387973A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810112125.1
申请日：2018-02-05
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G02B6/125
摘要： 一种减小飞秒激光直写波导弯曲损耗的方法，本方法的核心包括两个方案：1、在弯曲波导外侧，激光直写并辅助化学刻蚀，刻蚀出空气槽；2、在弯曲波导两侧，激光直写多层产生应力的破坏线。本发明能增加弯曲波导有效折射率，从而减少导波的辐射模，大大降低弯曲损耗，有效减小器件中弯曲波导的弯曲半径，使波导器件结构更加紧凑，对微纳光学中三维光器件集成化、芯片化和光互联等领域具有重要意义。
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公开(公告)号：CN107748402A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201710960370.3
申请日：2017-10-16
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种双盘光学回音壁模式铌酸锂微腔，该微腔自上而下依次是第一铌酸锂圆盘、二氧化硅薄盘、第二铌酸锂圆盘、二氧化硅支柱和铌酸锂基底，及其制备方法，包括制备五层薄膜、加工柱状结构和化学腐蚀步骤。本发明双盘光学回音壁模式铌酸锂微腔具有极高的表面光洁度、小的模式体积与高的品质因子(实测105，理论值可达107)。
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公开(公告)号：CN102351406A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110193072.9
申请日：2011-07-12
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： C03B19/00
摘要： 一种利用飞秒激光在玻璃内部直写微机械零件的方法，包括对多孔玻璃飞秒激光直写、退火等步骤，本发明方法具有简单、快速、高精度的特点，可在玻璃芯片内部实现较复杂的微机械结构。
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公开(公告)号：CN102288104A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110206449.X
申请日：2011-07-22
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 上海微电子装备有限公司
CPC分类号： G01B9/02 , G01B9/02007 , G01B9/02027 , G01B9/02056 , G01B2290/70
摘要： 一种六轴4细分干涉仪，特点在于其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为六轴分光系统和干涉模块。所述的六轴分光系统由5个45°平面分光镜和4个45°全反镜组成。本发明具有元件易加工、光路调节方便、非线性误差小和各路光束温漂一致等优点。
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公开(公告)号：CN101435774B
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200810207557.7
申请日：2008-12-23
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种双色单光子横向超分辨成像的方法和装置，该方法最大的特点是采用敏化光束和激发光束的重叠部分同时敏化和激发被可逆光敏荧光蛋白分子标记的样品，才能实现荧光激发。物镜收集荧光信号，经过敏化双色镜和激发双色镜以及陷波滤光片和长通滤光片，最后由聚焦透镜聚焦通过一个小孔光阑由雪崩二极管测量荧光强度，计算机记录荧光强度值，计算机关闭快门使可逆光敏荧光蛋白在敏化光照明下恢复到可激发态，计算机驱动三维平移台移动可逆光敏荧光蛋白标记的样品，实现三维扫描成像。本发明可提高超分辨荧光成像的横向分辨率1.55-2.81倍。
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公开(公告)号：CN101862899A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010177608.3
申请日：2010-05-14
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种飞秒激光加工装置，包括飞秒激光器，沿该飞秒激光器输出的飞秒激光光路依次是小孔光阑、平行光栅对、双色镜、显微物镜和加工对象，该加工对象固定于三维精密电控位移平台上并使所述的显微物镜的焦点位于该加工对象的内部，所述的双色镜与所述的飞秒激光光路的夹角为45°，在该双色镜的垂直方向设置照明光源，该照明光源所发出的白光经所述的双色镜反射后再通过显微物镜聚焦于加工对象的加工区域，为整个加工过程提供照明，在所述的双色镜另一反射方向依次设置透镜和CCD，所述的三维精密电控位移平台和CCD与计算机相连。本发明装置能实现各向同性的高精度加工，可应用于光波导和微流体通道制备中。
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