公开(公告)号：CN111929962B

公开(公告)日：2022-05-31

申请号：CN202010609181.3

申请日：2020-06-29

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 程亚 ,  姚金平 ,  万悦芯 ,  刘招祥 ,  许波 ,  陈锦明 ,  张方波 ,  张志豪

IPC分类号： G02F1/35

摘要： 一种多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置与方法。其主要元件包括：近红外飞秒激光器、分束片、延时线、缩束系统、倍频晶体、二分之一波片、四分之一波片、聚焦透镜、气腔、滤波片等。在该装置中，近红外飞秒激光经过一块分束片分成两束光，一束作为近红外泵浦光，另一束用于产生波长可调谐的紫外泵浦光。近红外泵浦光在CO气腔中进行分子电离和双光子共振激发，并与紫外泵浦光进行共振四波混频输出窄带DUV/VUV相干辐射。通过改变紫外泵浦光的椭圆偏振度，可以产生任意偏振态的窄带DUV/VUV相干辐射。本发明能够实现多个波长、窄线宽、偏振灵活可控的窄带DUV/VUV相干辐射。

公开(公告)号：CN109100262B

公开(公告)日：2021-05-04

申请号：CN201811105266.7

申请日：2018-09-21

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 陈锦明 ,  姚金平 ,  储蔚 ,  刘招祥 ,  许波 ,  万悦芯 ,  张方波 ,  程亚 ,  徐至展

IPC分类号： G01N9/24

摘要： 一种飞秒激光成丝等离子体密度测量装置和测量方法，该装置中飞秒激光经过两块分束片分成三束光，分别作为泵浦光，第一探测光P1，第二探测光P2。泵浦光在气腔中成丝形成等离子体通道，第一探测光P1经过等离子体通道作为等离子体引入变化量的载体，再由第二探测光P2通过互相关测量观测出变化量的数值从而反推出等离子体密度。其次通过侧向荧光分布解决等离子体纵向分布不均匀问题。本发明具有时间分辨能力高、调节方便和测量精确的特点。

公开(公告)号：CN111929962A

公开(公告)日：2020-11-13

申请号：CN202010609181.3

申请日：2020-06-29

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 程亚 ,  姚金平 ,  万悦芯 ,  刘招祥 ,  许波 ,  陈锦明 ,  张方波 ,  张志豪

IPC分类号： G02F1/35

摘要： 一种多波长真空紫外及深紫外相干光源的产生装置与方法。其主要元件包括：近红外飞秒激光器、分束片、延时线、缩束系统、倍频晶体、二分之一波片、四分之一波片、聚焦透镜、气腔、滤波片等。在该装置中，近红外飞秒激光经过一块分束片分成两束光，一束作为近红外泵浦光，另一束用于产生波长可调谐的紫外泵浦光。近红外泵浦光在CO气腔中进行分子电离和双光子共振激发，并与紫外泵浦光进行共振四波混频输出窄带DUV/VUV相干辐射。通过改变紫外泵浦光的椭圆偏振度，可以产生任意偏振态的窄带DUV/VUV相干辐射。本发明能够实现多个波长、窄线宽、偏振灵活可控的窄带DUV/VUV相干辐射。

公开(公告)号：CN109100262A

公开(公告)日：2018-12-28

申请号：CN201811105266.7

申请日：2018-09-21

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 陈锦明 ,  姚金平 ,  储蔚 ,  刘招祥 ,  许波 ,  万悦芯 ,  张方波 ,  程亚 ,  徐至展

IPC分类号： G01N9/24

摘要： 一种飞秒激光成丝等离子体密度测量装置和测量方法，该装置中飞秒激光经过两块分束片分成三束光，分别作为泵浦光，第一探测光P1，第二探测光P2。泵浦光在气腔中成丝形成等离子体通道，第一探测光P1经过等离子体通道作为等离子体引入变化量的载体，再由第二探测光P2通过互相关测量观测出变化量的数值从而反推出等离子体密度。其次通过侧向荧光分布解决等离子体纵向分布不均匀问题。本发明具有时间分辨能力高、调节方便和测量精确的特点。