Invention Grant
- Patent Title: 电子枪、电子射线应用装置以及电子束射出方法
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Application No.: CN201980023850.4Application Date: 2019-08-07
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Publication No.: CN111937112BPublication Date: 2023-11-28
- Inventor: 饭岛北斗
- Applicant: 日商光电魂股份有限公司
- Applicant Address: 日本爱知县
- Assignee: 日商光电魂股份有限公司
- Current Assignee: 日商光电魂股份有限公司
- Current Assignee Address: 日本爱知县
- Agency: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司
- Agent 刘军
- Priority: 2018-194848 2018.10.16 JP
- International Application: PCT/JP2019/031052 2019.08.07
- International Announcement: WO2020/079929 JA 2020.04.23
- Date entered country: 2020-09-29
- Main IPC: H01J37/073
- IPC: H01J37/073 ; H01J37/06
Abstract:
本发明的课题在于提供一种在将电子枪搭载于合作伙伴装置后，可将电子束的焦点调整至短焦点侧以及长焦点侧的装置。本发明通过一种电子枪而可解决上述课题，其是一种包括光电阴极以及阳极的电子枪，进一步包括配置在该光电阴极与该阳极之间的中间电极。该中间电极具有使自该光电阴极射出的电子束通过的电子束通过孔，且于该电子束通过孔中形成有漂移空间。该漂移空间在透过施加电压而在该光电阴极与该阳极之间形成电场时，得以忽略该电场的影响。
Public/Granted literature
- CN111937112A 电子枪、电子射线应用装置、使用电子枪的电子束射出方法以及电子束的焦点位置调整方法 Public/Granted day:2020-11-13
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