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公开(公告)号：CN113692634B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202080028752.2
申请日：2020-07-31
申请人： 日商光电魂股份有限公司
摘要： 本发明提供一种在将光电阴极与透镜设置于电子枪内时，不需要调整光电阴极膜与使焦点对准光电阴极膜的透镜的距离的光电阴极套组。该光电阴极套组包含：光电阴极，包含第一面形成有光电阴极膜的基板；透镜；及固持座，保持所述基板及所述透镜；所述固持座具有：保持部件，将所述光电阴极膜与所述透镜保持成相隔预定的距离；及第一连通部，将所述固持座的内部与所述固持座的外部连通。
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公开(公告)号：CN111937112B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN201980023850.4
申请日：2019-08-07
申请人： 日商光电魂股份有限公司
发明人： 饭岛北斗
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/06
摘要： 本发明的课题在于提供一种在将电子枪搭载于合作伙伴装置后，可将电子束的焦点调整至短焦点侧以及长焦点侧的装置。本发明通过一种电子枪而可解决上述课题，其是一种包括光电阴极以及阳极的电子枪，进一步包括配置在该光电阴极与该阳极之间的中间电极。该中间电极具有使自该光电阴极射出的电子束通过的电子束通过孔，且于该电子束通过孔中形成有漂移空间。该漂移空间在透过施加电压而在该光电阴极与该阳极之间形成电场时，得以忽略该电场的影响。
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公开(公告)号：CN112352300A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202080002276.7
申请日：2020-05-08
申请人： 日商光电魂股份有限公司
IPC分类号： H01J37/073
摘要： 本发明的课题在于提供一种仅以电子枪所具备的构成就能够直接监视从光电阴极所发射的电子束的强度的电子枪、搭载有电子枪的电子射线应用装置以及电子枪的控制方法。为解决上述课题，本发明的电子枪包括：光源；光电阴极，因应来自光源的受光而发射电子束；阳极；电子束遮蔽构件，可遮蔽电子束的一部分；及测量部，使用通过电子束遮蔽构件所遮蔽的测量用电子束，而测量从光电阴极所发射的电子束的强度。
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公开(公告)号：CN111937112A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201980023850.4
申请日：2019-08-07
申请人： 日商光电魂股份有限公司
发明人： 饭岛北斗
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/06
摘要： 本发明的课题在于提供一种在将电子枪搭载于合作伙伴装置后，可将电子束的焦点调整至短焦点侧以及长焦点侧的装置。本发明通过一种电子枪而可解决上述课题，其是一种包括光电阴极以及阳极的电子枪，进一步包括配置在该光电阴极与该阳极之间的中间电极。该中间电极具有使自该光电阴极射出的电子束通过的电子束通过孔，且于该电子束通过孔中形成有漂移空间。该漂移空间在透过施加电压而在该光电阴极与该阳极之间形成电场时，得以忽略该电场的影响。
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公开(公告)号：CN114303223A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202080059386.7
申请日：2020-09-04
申请人： 日商光电魂股份有限公司
发明人： 饭岛北斗
摘要： 本发明要解决的问题在于提供可确认从光电阴极射出的电子束是否从设计射出中心轴偏移的电子枪。通过本发明的电子枪可解决上述问题，该电子枪包含：光源；光电阴极，依据来自光源的受光而射出电子束；以及阳极；该电子枪包含：中间电极，配置于光电阴极与阳极之间；电子束遮蔽部件，可遮蔽电子束的一部分；测量部，测量经由电子束遮蔽部件遮蔽的电子束的强度；以及电子束射出方向偏向装置，配置于阳极与电子束遮蔽部件之间，且使通过阳极的电子束到达电子束遮蔽部件时的位置变化；中间电极具有供从光电阴极射出的电子束通过的电子束通过孔；在电子束通过孔中形成在借助于电压的施加而在光电阴极与阳极之间形成有电场时可忽略电场的影响的漂移空间。
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公开(公告)号：CN113692634A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202080028752.2
申请日：2020-07-31
申请人： 日商光电魂股份有限公司
摘要： 本发明提供一种在将光电阴极与透镜设置于电子枪内时，不需要调整光电阴极膜与使焦点对准光电阴极膜的透镜的距离的光电阴极套组。该光电阴极套组包含：光电阴极，包含第一面形成有光电阴极膜的基板；透镜；及固持座，保持所述基板及所述透镜；所述固持座具有：保持部件，将所述光电阴极膜与所述透镜保持成相隔预定的距离；及第一连通部，将所述固持座的内部与所述固持座的外部连通。
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