Invention Grant
- Patent Title: 一种动态双波长移相干涉测量装置和测量方法
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Application No.: CN202010609106.7Application Date: 2020-06-29
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Publication No.: CN111947592BPublication Date: 2021-10-08
- Inventor: 刘世杰 , 鲁棋 , 周游 , 白云波 , 徐天柱 , 倪开灶 , 邵建达
- Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- Applicant Address: 上海市嘉定区清河路390号
- Assignee: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- Current Assignee: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- Current Assignee Address: 上海市嘉定区清河路390号
- Agency: 上海恒慧知识产权代理事务所
- Agent 张宁展
- Main IPC: G01B11/24
- IPC: G01B11/24 ; G01B9/02
Abstract:
一种动态双波长移相干涉测量装置,该装置中的包括:第一激光器、第二激光器、可调中性滤光片、光开关、反射镜、合束镜、扩束镜、二分之一波片、第一偏振分光棱镜、第一四分之一波片、参考镜、第二四分之一波片、近零位补偿镜、被测面、第三四分之一波片、成像镜、分束镜、第二偏振分光棱镜、第一探测器、第二探测器、第三偏振分光棱镜、第三探测器、第四探测器和计算机;以及测量方法。本发明装置隔振要求低,能实现对最大面形误差斜率小于3.5μm/pixel的非球面/自由曲面元件的面形进行全口径动态干涉测量。
Public/Granted literature
- CN111947592A 一种动态双波长移相干涉测量装置和测量方法 Public/Granted day:2020-11-17
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