一种动态双波长移相干涉测量装置和测量方法
Abstract:
一种动态双波长移相干涉测量装置,该装置中的包括:第一激光器、第二激光器、可调中性滤光片、光开关、反射镜、合束镜、扩束镜、二分之一波片、第一偏振分光棱镜、第一四分之一波片、参考镜、第二四分之一波片、近零位补偿镜、被测面、第三四分之一波片、成像镜、分束镜、第二偏振分光棱镜、第一探测器、第二探测器、第三偏振分光棱镜、第三探测器、第四探测器和计算机;以及测量方法。本发明装置隔振要求低,能实现对最大面形误差斜率小于3.5μm/pixel的非球面/自由曲面元件的面形进行全口径动态干涉测量。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0