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公开(公告)号：CN112229854B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202010916390.2
申请日：2020-09-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明提出了一种球面光学元件表面缺陷测量装置和测量方法，利用照明反射光和表面缺陷产生的散射光的偏振特性的差异，去除照明反射光对表面缺陷暗场成像的影响，在准直照明条件下，即可实现不同曲率半径光学元件表面缺陷检测，无需因球面光学元件的曲率改变而调整照明光源，也不需要复杂的光学设计来实现不同程度聚焦照明光。结合抛光液等污染性缺陷的光致发光效应，实现对球面光学元件表面残留的抛光液等缺陷的原位同步检测。提出了一种结合位置探测器的原位反射式球面定心光路结构，球面光学元件无需在定心系统和测量系统之间移动，避免了运动定位误差，结构简单方便。
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公开(公告)号：CN114965369A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210377804.8
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种掩模基板表面微纳缺陷检测装置和检测方法，该装置采用双方位角斜入射和垂直入射照明，本发明通过反射物镜高效收集不同散射角下的表面缺陷散射信号，提高缺陷探测灵敏度。本发明通过分别采集斜入射照明下的缺陷散射图像和垂直照明下的缺陷散射图像，比较表面缺陷在不同照明方式下的散射信号差异可以判别缺陷的类型，提高检测准确性。
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公开(公告)号：CN111202497B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202010017917.8
申请日：2020-01-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: A61B5/00
Abstract: 一种基于微偏振片阵列的散射成像皮肤病变检测装置，包括光源、会聚透镜、宽带可调谐滤波器、起偏器、准直器、玻璃片、耦合剂、样品、位移平台、第一成像镜头、微偏振片阵列、第一相机、第二成像镜头、衰减片、第二相机和计算机。本发明结构简单，无需机械旋转机构。通过单次成像和计算即可得到高对比度的偏振度图像。实现了实时动态检测，避免了在检测过程中，活体的移动导致的测量误差。照明波段可以快速连续切换，实现了多波段近实时测量，以凸显不同组织特征。
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公开(公告)号：CN114428057A
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202210038701.9
申请日：2022-01-13
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种材料宽谱吸收特性测量装置和测量方法，该装置包括宽谱泵浦光路和探测光路。本发明采用常用的高功率宽谱照明光源实现材料在宽波段范围内的吸收光谱直接测量，显著降低成本。解决了泵浦光束聚焦后光斑中心空洞的问题。基于声光调制，并通过光束调控获得强单色泵浦光，提高了光源使用效率，增强了探测信号强度，提升了系统的吸收测量灵敏度和信噪比。
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公开(公告)号：CN112229854A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN202010916390.2
申请日：2020-09-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明提出了一种球面光学元件表面缺陷测量装置和测量方法，利用照明反射光和表面缺陷产生的散射光的偏振特性的差异，去除照明反射光对表面缺陷暗场成像的影响，在准直照明条件下，即可实现不同曲率半径光学元件表面缺陷检测，无需因球面光学元件的曲率改变而调整照明光源，也不需要复杂的光学设计来实现不同程度聚焦照明光。结合抛光液等污染性缺陷的光致发光效应，实现对球面光学元件表面残留的抛光液等缺陷的原位同步检测。提出了一种结合位置探测器的原位反射式球面定心光路结构，球面光学元件无需在定心系统和测量系统之间移动，避免了运动定位误差，结构简单方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106404695B
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201611020005.6
申请日：2016-11-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种分光光度计，包括光源模块、参考光模块、谐振腔模块、样品模块和光电探测模块，本发明分光光度计具有动态测量范围大和测量精度高和重复性精度高的优点，因而具有更广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN110441309A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910609670.6
申请日：2019-07-08
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/88
Abstract: 一种显微散射偏振成像表面缺陷测量装置和测量方法，该装置主要包括激光器、第一会聚透镜、旋转扩散器、第二会聚透镜、光阑、第三会聚透镜、针孔、第四会聚透镜、偏振片、半波片、偏振分束器、X-Y位移平台、样品、显微镜头、四分之一波片、微偏振片阵列、相机和计算机。本发明采用微偏振片阵列实现表面缺陷实时显微散射偏振成像，通过计算偏振度图像，提升了超光滑元件表面缺陷探测的灵敏度，实现高反膜元件表面缺陷有效检测，能够满足米级大口径超光滑元件表面缺陷快速检测需求。
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公开(公告)号：CN106442564A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610902339.X
申请日：2016-10-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所 , 合肥知常光电科技有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 一种大口径超光滑表面缺陷检测装置和检测方法，该装置主要包括激光器、激光扩束系统、高反镜、起偏器、偏振分光棱镜、1/4波片、旋转棱镜、远心场镜、高角度散射光探测器、低角度散射光探测器、行触发探测器、反射光探测器、精密位移平台和计算机。本发明能够显著提高对大口径光学元件的检测效率，避免了因高速旋转使大口径光学元件产生振动、轴向跳动等对检测结果产生严重影响。能实现对表面缺陷进行分类，识别出检测到的缺陷是凹坑、划痕还是凸起的灰尘、纤维等。
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公开(公告)号：CN106404695A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201611020005.6
申请日：2016-11-17
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种分光光度计，包括光源模块、参考光模块、谐振腔模块、样品模块和光电探测模块，本发明分光光度计具有动态测量范围大和测量精度高和重复性精度高的优点，因而具有更广泛的应用前景。
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公开(公告)号：CN117074372A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202311090278.8
申请日：2023-08-28
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01N21/63
Abstract: 一种高分辨光热显微测量装置和测量方法，该装置采用环形泵浦垂直聚焦激发光热效应，同侧同轴光纤探针形成纳米尺度探测光源，同轴后向较强散射探测信号对称高效收集和前向透射探测信号收集，环形泵浦聚焦避免了强透射泵浦光进入透射物镜对探测信号产生寄生效应。本发明实现了空间分辨率在10nm～100nm的高分辨高灵敏度光热吸收探测，且对透明样品和不透明样品均可测量。
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