本发明涉及一种基于时序InSAR技术的地表形变反演方法，包括以下步骤：地理编码及影像配准，生成差分干涉对，选取PS点，时空解缠，误差分离。具体的，在影像配准方式上，采用粗配准加精配准，保证TOPS成像模式下的配准精度需要；对于大气延迟误差，分别对分层大气和浮动大气利用不同的算法进行处理，最大程度上削弱大气误差的影响，提高形变反演的精度；若提供GNSS数据，可以利用该观测数据对大气延迟进行改正，同时在InSAR观测方程中作为约束条件进行联合平差，保证了形变结果的精度和可靠性，实现全天候、大面积、连续、高空间分辨率的地表形变监测。