镀膜腔体及粉末镀膜装置
Abstract:
本发明涉及一种粉末镀膜装置及镀膜腔体,从进气端口充入流化气,可使粉末得到较高的初速度并流化。由于在由进气端口到出气端口的方向上,内腔体的过流断面的面积呈增大的趋势。根据流体方程,进气端口到出气端口的方向上气体流速将呈递减趋势。当流速下降至一定程度后,被扬起的粉末将逐步开始沉降,并在靠近进气端口时再次被扬起。因此,粉末将在有限的高度内形成内循环,从而增加粉末颗粒间的相互作用,减少团聚。同时,由于粉末扬起的高度有限,故能避免粉末触及并吸附于出气端口。而且,形成内循环的粉末增加了对腔壁的冲击,还减少了腔壁上吸附的粉末。因此,镀膜的均匀性得以显著提升。
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