紫外发光二极管及其制造方法
摘要:
公开了一种紫外发光二极管及其制造方法,包括:外延层,包括第一半导体层、多量子阱层以及第二半导体层;位于所述第二半导体层表面的透明导电薄膜;位于所述透明导电薄膜表面的反射镜层,其中,所述透明导电薄膜为具有导电性能的宽禁带介质薄膜。本申请的紫外发光二极管及其制造方法中,采用宽禁带材料代替ITO等材料,并通过电击穿工艺使宽禁带材料与P型半导体层形成欧姆接触,从而在实现紫外发光二极管良好的欧姆接触性能的同时具有高紫外透射率。
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